四探针测试仪广泛用于精确的电阻率测量，因为它克服了这些测量中经常遇到的几个挑战。

关键优势之一是这种方法消除了接触电阻的问题。接触电阻是在测量设备和被测材料之间的接触点处遇到的电阻。此电阻会在测量中引入误差，而四探针测试仪可通过使用单独的触点进行电流注入和电压测量来帮助减少或消除此误差。这是因为两个外部探头用于注入电流，两个内部探头用于测量电压。因此，可能影响测量的电阻被旁路。

此外，四探针测试仪允许对各种形状的样品进行精确的电阻率测量，因为它不依赖于探针的几何形状，而是依赖于探针的均匀间距。这种多功能性使其成为各种应用的首选方法。

此外，四探针测试仪常用于半导体材料研究和器件测试。半导体材料的电阻率会影响器件的几个关键特性，例如电容、串联电阻和阈值电压。通过使用四探针测试仪方法，研究人员和工程师可以准确了解这些参数，从而促进更有效的半导体器件设计和优化。

但是，值得注意的是，要成功进行电阻率测量，需要考虑潜在的误差源，例如静电干扰，这在高电阻水平时尤其容易出现问题。

最后，为了表征低电阻材料，包括可编程电流源和纳伏级电压测量设备在内的特定配置可以与四探针测试仪结合使用，即使在具有挑战性的场景中也能实现高精度测量。